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智能硬件制造工艺
智能硬件制造工艺
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《智能硬件制造工艺》是江苏开放大学物联网工程专业选修课。智能硬件制造技术涉及到的各单项工艺的原理各异,所依托的技术基础和方法众多。通过课程的学习,使学员掌握智能硬件制造工艺技术的基本理论和基本知识,了解现代半导体集成电路的发展过程,了解半导体集成电路的主要制备工艺技术,如衬底单晶硅制备、氧化与掺杂、薄膜制备、图形转移技术、工艺集成与封装等,为后续课程和从事与本专业有关的工程技术等工作打下一定的基础。
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时长( 06:38:37)
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1.1集成电路发展历程及工艺特点-优化
/
297
2.1 单晶硅特性-优化
/
890
2.2 硅衬底的制备--优化
/
877
2.3 气相外延--优化
/
881
2.4 分子束外延与其他外延方法--优化
/
882
实验一 初识软件讲稿-优化
/
249
3.1 热氧化概念及二氧化硅薄膜概述-优化
/
240
3.2 硅的热氧化-优化
/
237
3.3 氧化层质量及检测-优化
/
237
3.4 扩散机构及杂质的扩散-优化
/
290
3.5 热扩散工艺的条件和方法-优化
/
235
3.6 扩散工艺质量与检测-优化
/
195
3.7 离子注入概述及原理-优化
/
193
3.8 注入离子在靶中的分布-优化
/
199
3.9 退火-优化
/
240
实验二 离子注入讲稿-优化
/
248
实验三 氧化仿真实验-优化
/
250
4.1 CVD概述及原理——优化
/
241
4.2 CVD工艺方法——优化
/
247
4.3 PVD概述与真空——优化
/
241
4.4 真空蒸镀——优化
/
199
4.5 溅射-优化
/
226
5.1 光刻工艺概述-优化
/
242
5.2 光刻掩模版的制造-优化
/
281
5.3 光刻胶-优化
/
239
5.4 曝光技术-优化
/
244
5.5 湿法刻蚀-优化
/
248
5.6 干法刻蚀-优化
/
245
6.1 金属化互连-优化
/
250
6.2 隔离工艺-优化
/
246
6.3 CMOS集成电路工艺-优化
/
247
1.1 集成电路制造技术简介讲义
/
241
2.1 单晶硅特性讲义
/
235
2.2 硅衬底的制备讲义
/
241
2.3 气相外延讲义
/
239
2.4 分子束外延与其他外延方法讲义
/
241
实验一 初识Silvaco Tcad软件讲义
/
249
3.1 二氧化硅薄膜概述讲义
/
274
3.2 硅的热氧化讲义
/
238
3.3 氧化层质量及检测讲义
/
237
3.4 扩散机构及杂质的扩散讲义
/
239
3.5 热扩散工艺的条件和方法讲义
/
239
3.6 扩散工艺质量与检测讲义
/
237
3.7 离子注入概述及原理讲义
/
239
3.8 注入离子在靶中的分布讲义
/
245
3.9 退火讲义
/
242
实验二 离子注入讲义
/
246
实验三 氧化仿真讲义
/
248
4.1 CVD概述及原理讲义
/
245
4.2 CVD工艺方法讲义
/
243
4.3 PVD概述与真空讲义
/
242
4.4 真空蒸镀讲义
/
243
4.5 溅射讲义
/
289
5.1 光刻工艺概述讲义
/
245
5.2 光刻掩模版的制造讲义
/
244
5.3 光刻胶讲义
/
243
5.4 曝光技术讲义
/
248
5.5 湿法刻蚀讲义
/
245
5.6 干法刻蚀讲义
/
246
6.1 金属化与多层互连讲义
/
244
6.2 隔离工艺讲义
/
247
6.3 CMOS集成电路工艺讲义
/
209
1.1集成电路发展历程及工艺特点
00:13:37
321
2.1 单晶硅特性
00:20:01
1091
2.2 硅衬底的制备
00:11:40
949
2.3 气相外延
00:12:42
1137
2.4 分子束外延与其他外延方法
00:11:27
852
实验一 初识软件
00:20:12
235
3.1 二氧化硅薄膜概述
00:10:16
210
3.2 硅的热氧化
00:19:26
233
3.3 氧化层质量及检测
00:07:35
229
3.4 扩散机构及杂质的扩散
00:15:38
314
3.5 热扩散工艺的条件和方法
00:09:38
230
3.6 扩散工艺质量与检测
00:08:34
206
3.7 离子注入概述及原理
00:07:23
307
3.8 注入离子在靶中的分布
00:09:00
206
3.9 退火
00:09:48
228
实验二 离子注入
00:17:59
239
实验三 氧化仿真实验
00:12:02
232
4.1 CVD概述及原理
00:12:25
229
4.2 CVD工艺方法
00:16:23
240
4.3 PVD概述与真空
00:07:11
229
4.4 真空蒸镀
00:11:08
206
4.5 溅射
00:16:10
237
5.1 光刻工艺概述
00:18:33
232
5.2 光刻掩模版的制造
00:10:26
291
5.3 光刻胶
00:13:40
232
5.4 曝光技术
00:18:17
236
5.5 湿法刻蚀
00:11:37
238
5.6 干法刻蚀
00:15:25
235
6.1 金属化互连
00:12:57
231
6.2 隔离工艺
00:08:23
233
6.3 CMOS集成电路工艺
00:09:04
233
创建者
huangqq
上传:125份资源
创建:1个课程
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详细信息
所属分类:
江开本科 - 物联网工程(本科)
人群:
大众
知识体系:
工学
主持人:
黄倩倩
主讲老师:
王昕
版权归属:
江苏开放大学版权
项目编码:
关键词
智能硬件制造工艺
创建于:2024-12-10
最近更新:2024-12-10