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智能硬件制造工艺
智能硬件制造工艺
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《智能硬件制造工艺》是江苏开放大学物联网工程专业选修课。智能硬件制造技术涉及到的各单项工艺的原理各异,所依托的技术基础和方法众多。通过课程的学习,使学员掌握智能硬件制造工艺技术的基本理论和基本知识,了解现代半导体集成电路的发展过程,了解半导体集成电路的主要制备工艺技术,如衬底单晶硅制备、氧化与掺杂、薄膜制备、图形转移技术、工艺集成与封装等,为后续课程和从事与本专业有关的工程技术等工作打下一定的基础。
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时长( 06:38:37)
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1.1集成电路发展历程及工艺特点-优化
/
159
2.1 单晶硅特性-优化
/
797
2.2 硅衬底的制备--优化
/
786
2.3 气相外延--优化
/
790
2.4 分子束外延与其他外延方法--优化
/
789
实验一 初识软件讲稿-优化
/
155
3.1 热氧化概念及二氧化硅薄膜概述-优化
/
147
3.2 硅的热氧化-优化
/
146
3.3 氧化层质量及检测-优化
/
146
3.4 扩散机构及杂质的扩散-优化
/
158
3.5 热扩散工艺的条件和方法-优化
/
145
3.6 扩散工艺质量与检测-优化
/
104
3.7 离子注入概述及原理-优化
/
103
3.8 注入离子在靶中的分布-优化
/
108
3.9 退火-优化
/
148
实验二 离子注入讲稿-优化
/
156
实验三 氧化仿真实验-优化
/
155
4.1 CVD概述及原理——优化
/
150
4.2 CVD工艺方法——优化
/
153
4.3 PVD概述与真空——优化
/
150
4.4 真空蒸镀——优化
/
107
4.5 溅射-优化
/
135
5.1 光刻工艺概述-优化
/
151
5.2 光刻掩模版的制造-优化
/
149
5.3 光刻胶-优化
/
148
5.4 曝光技术-优化
/
153
5.5 湿法刻蚀-优化
/
154
5.6 干法刻蚀-优化
/
152
6.1 金属化互连-优化
/
153
6.2 隔离工艺-优化
/
154
6.3 CMOS集成电路工艺-优化
/
155
1.1 集成电路制造技术简介讲义
/
149
2.1 单晶硅特性讲义
/
144
2.2 硅衬底的制备讲义
/
148
2.3 气相外延讲义
/
147
2.4 分子束外延与其他外延方法讲义
/
148
实验一 初识Silvaco Tcad软件讲义
/
157
3.1 二氧化硅薄膜概述讲义
/
184
3.2 硅的热氧化讲义
/
146
3.3 氧化层质量及检测讲义
/
146
3.4 扩散机构及杂质的扩散讲义
/
147
3.5 热扩散工艺的条件和方法讲义
/
147
3.6 扩散工艺质量与检测讲义
/
147
3.7 离子注入概述及原理讲义
/
148
3.8 注入离子在靶中的分布讲义
/
151
3.9 退火讲义
/
150
实验二 离子注入讲义
/
155
实验三 氧化仿真讲义
/
158
4.1 CVD概述及原理讲义
/
152
4.2 CVD工艺方法讲义
/
151
4.3 PVD概述与真空讲义
/
150
4.4 真空蒸镀讲义
/
150
4.5 溅射讲义
/
156
5.1 光刻工艺概述讲义
/
154
5.2 光刻掩模版的制造讲义
/
152
5.3 光刻胶讲义
/
152
5.4 曝光技术讲义
/
156
5.5 湿法刻蚀讲义
/
152
5.6 干法刻蚀讲义
/
154
6.1 金属化与多层互连讲义
/
152
6.2 隔离工艺讲义
/
154
6.3 CMOS集成电路工艺讲义
/
114
1.1集成电路发展历程及工艺特点
00:13:37
185
2.1 单晶硅特性
00:20:01
959
2.2 硅衬底的制备
00:11:40
847
2.3 气相外延
00:12:42
1010
2.4 分子束外延与其他外延方法
00:11:27
759
实验一 初识软件
00:20:12
142
3.1 二氧化硅薄膜概述
00:10:16
117
3.2 硅的热氧化
00:19:26
139
3.3 氧化层质量及检测
00:07:35
137
3.4 扩散机构及杂质的扩散
00:15:38
180
3.5 热扩散工艺的条件和方法
00:09:38
137
3.6 扩散工艺质量与检测
00:08:34
115
3.7 离子注入概述及原理
00:07:23
174
3.8 注入离子在靶中的分布
00:09:00
113
3.9 退火
00:09:48
136
实验二 离子注入
00:17:59
145
实验三 氧化仿真实验
00:12:02
141
4.1 CVD概述及原理
00:12:25
138
4.2 CVD工艺方法
00:16:23
144
4.3 PVD概述与真空
00:07:11
136
4.4 真空蒸镀
00:11:08
114
4.5 溅射
00:16:10
144
5.1 光刻工艺概述
00:18:33
140
5.2 光刻掩模版的制造
00:10:26
157
5.3 光刻胶
00:13:40
141
5.4 曝光技术
00:18:17
143
5.5 湿法刻蚀
00:11:37
144
5.6 干法刻蚀
00:15:25
143
6.1 金属化互连
00:12:57
140
6.2 隔离工艺
00:08:23
141
6.3 CMOS集成电路工艺
00:09:04
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创建者
huangqq
上传:125份资源
创建:1个课程
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详细信息
所属分类:
江开本科 - 物联网工程(本科)
人群:
大众
知识体系:
工学
主持人:
黄倩倩
主讲老师:
王昕
版权归属:
江苏开放大学版权
项目编码:
关键词
智能硬件制造工艺
创建于:2024-12-10
最近更新:2024-12-10